电子束损伤

TEM | L4 非弹性散射和电子束损伤

为什么非弹性散射值得我们关注？因为这类散射过程产生了多种信号，每种信号都能提供比弹性电子更丰富的样品化学信息。除了能量损失电子本身，最重要的信号包括特征X射线、二次电子，以及偶尔出现的可见光（阴极荧光，CL）。